Plasma Charging Damage - Kin P. Cheung - Livres - Springer London Ltd - 9781852331443 - 4 octobre 2000
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Plasma Charging Damage 2001 edition

Kin P. Cheung

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Plasma Charging Damage 2001 edition

In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.

346 pages, biography

Médias Livres     Hardcover Book   (Livre avec dos et couverture rigide)
Validé 4 octobre 2000
ISBN13 9781852331443
Éditeurs Springer London Ltd
Pages 346
Dimensions 155 × 235 × 20 mm   ·   657 g
Langue et grammaire English  

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