An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering - Nadim Maluf - Livres - Artech House Print on Demand - 9780890065815 - 30 novembre 1999
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering First Printing edition

Nadim Maluf

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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering First Printing edition

Provides a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describe in detail the materials used in producing MEMS-including silicon, polymers, and glass and quartz substrates-as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications. DLC: Microelectromechanical systems.

Médias Livres     Hardcover Book   (Livre avec dos et couverture rigide)
Validé 30 novembre 1999
ISBN13 9780890065815
Éditeurs Artech House Print on Demand
Pages 265
Dimensions 158 × 24 × 232 mm   ·   644 g
Langue et grammaire English  
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