Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Livres - SPIE Press - 9780819430526 - 1 février 1999
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Harry J. Levinson
Lithography Process Control - Tutorial Texts

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This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.

194 pages, Illustrations, 1 port.

Médias Livres     Paperback Book   (Livre avec couverture souple et dos collé)
Validé 1 février 1999
ISBN13 9780819430526
Éditeurs SPIE Press
Pages 194
Dimensions 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

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