Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication - Mack, Chris (Lithoguru.com) - Livres - John Wiley & Sons Inc - 9780470727300 - 16 novembre 2007
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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Mack, Chris (Lithoguru.com)

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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter.

534 pages, Illustrations

Médias Livres     Paperback Book   (Livre avec couverture souple et dos collé)
Validé 16 novembre 2007
ISBN13 9780470727300
Éditeurs John Wiley & Sons Inc
Pages 544
Dimensions 247 × 174 × 29 mm   ·   916 g
Langue et grammaire English  

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