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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology Thorsten Lill
Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
Thorsten Lill
325 pages
| Médias | Livres Paperback Book (Livre avec couverture souple et dos collé) |
| Validé | 21 avril 2021 |
| ISBN13 | 9783527346684 |
| Éditeurs | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Pages | 304 |
| Dimensions | 245 × 171 × 18 mm · 584 g |
| Langue et grammaire | Anglais |