Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Livres - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15 avril 1993
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Rapid Thermal Processing: Science and Technology

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Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.

430 pages

Médias Livres     Hardcover Book   (Livre avec dos et couverture rigide)
Validé 15 avril 1993
ISBN13 9780122476907
Éditeurs Elsevier Science Publishing Co Inc
Pages 430
Dimensions 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Éditeur Fair, Richard B.

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